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高頻高精度石英晶片加工關(guān)鍵技術(shù) | 發(fā)布時(shí)間:2022-5-24 16:02:32 | | | |
隨著5G時(shí)代到來(lái),電子產(chǎn)品對(duì)晶片頻率的傳輸速率要求越來(lái)越快,對(duì)晶片特性要求也越來(lái)越高。
1.運(yùn)用拋光技術(shù)替代現(xiàn)有光刻技術(shù),同時(shí)使用粒徑小的研磨材料,使表面粗糙度<1nm。
2.改變晶片結(jié)構(gòu):采用“半圓形晶片”替代現(xiàn)有技術(shù)“方形片”加工。
3.UV粘接技術(shù):將多個(gè)晶片集中粘合,統(tǒng)一為同規(guī)格晶坨,對(duì)晶坨表面及邊緣進(jìn)行拋光處理,減小物理應(yīng)力,加工出的晶片薄且無(wú)毛刺。
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